金融界2024年11月28日音讯，国家知识产权局信息数据显现，广州市艾佛光通科技有限公司请求一项名为“一种多晶圆一次键合夹具及其使用方法”的专利，公开号 CN 119028851 A，请求日期为2024年9月。

  专利摘要显现，本发明供给了一种多晶圆一次键合夹具及其使用方法，触及晶圆键合技术领域。该多晶圆一次键合夹具包含上下对齐的上合盘、中合盘和下合盘，上合盘的下侧、中合盘的上下两边以及下合盘的上侧可以一起固定装置晶圆；上合盘滑动设置在中合盘的上方且可以沿上下方向接近或远离中合盘，坐落上合盘下侧的晶圆随上合盘移动可以与坐落中合盘上侧的晶圆紧贴；下合盘滑动设置在中合盘的下方且可以沿上下方向接近或远离中合盘，坐落下合盘上侧的晶圆随下合盘移动可以与坐落中合盘下侧的晶圆紧贴。本发明的多晶圆一次键合夹具可以有用提高键合功率，然后有利于提高产能和下降企业本钱。

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